Angaben zum Begriff
Bevorzugte Bezeichnung
Elektronolitografia
Oberbegriff
Synonyme
- E-beam lithography
- EBL
- Electron-beam lithography
In anderen Sprachen
-
Elektronenstrahllithografie
Deutsch
-
Electron beam lithography
Englisch
-
Lithographie à faisceau d'électrons
Französisch
-
електронна літографія
Ukrainisch
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
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