Angaben zum Begriff
In dieser Sprache gibt es keine Bezeichnung für diesen Begriff.
Bevorzugte Bezeichnung
Elektronolitografia (pl)
Oberbegriff
Synonyme
- Lithographie à faisceau d'électrons
In anderen Sprachen
-
Elektronenstrahllithografie
Deutsch
-
Electron beam lithography
Englisch
-
Polnisch
-
E-beam lithography
-
EBL
-
Electron-beam lithography
-
електронна літографія
Ukrainisch
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
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