Concept information
Terme préférentiel
Elektronolitografia
Concept générique
Variante
- E-beam lithography
- EBL
- Electron-beam lithography
Traductions
-
Elektronenstrahllithografie
allemand
-
Electron beam lithography
anglais
-
Lithographie à faisceau d'électrons
français
-
електронна літографія
ukrainien
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
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