Conceptinformatie
Voorkeursterm
Elektronolitografia
Breder concept
Ingangstermen
- E-beam lithography
- EBL
- Electron-beam lithography
In andere talen
-
Elektronenstrahllithografie
Duits
-
Electron beam lithography
Engels
-
Lithographie à faisceau d'électrons
Frans
-
електронна літографія
Oekraïens
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
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