Informação do conceito
Termo preferencial
Elektronolitografia
Conceito superordenado
Termos não preferenciais
- E-beam lithography
- EBL
- Electron-beam lithography
Termos equivalentes
-
Elektronenstrahllithografie
alemão
-
Lithographie à faisceau d'électrons
francês
-
Electron beam lithography
inglês
-
електронна літографія
ucraniano
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
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