Informação do conceito
Não há termo para este conceito na língua selecionada.
Termo preferencial
Elektronolitografia (pl)
Conceito superordenado
Termos não preferenciais
- Lithographie à faisceau d'électrons
Termos equivalentes
-
Elektronenstrahllithografie
alemão
-
Electron beam lithography
inglês
-
polonês
-
E-beam lithography
-
EBL
-
Electron-beam lithography
-
електронна літографія
ucraniano
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
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