Информация о концепции
Предпочитаемый термин
Elektronolitografia
Концепция более широкого понятия
Термины
- E-beam lithography
- EBL
- Electron-beam lithography
На других языках
-
Electron beam lithography
английский
-
Elektronenstrahllithografie
немецкий
-
електронна літографія
украинский
-
Lithographie à faisceau d'électrons
французский
URI
https://bn-skos.lab.dariah.pl/Elektronolitografia
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}